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產(chǎn)品分類
Product CategoryX-LDQ-AE 系列,線性電動(dòng)位移臺(tái),集成控制器。速度可達(dá)1.5m/s, 加速度為2g。
X-LDM-AE 系列,線性電動(dòng)位移臺(tái),集成控制器。高重復(fù)性(80nm)和精度 (1 µm),最小移動(dòng)量 25nm。
納米定位平臺(tái)設(shè)備和電容式傳感器是性能很高的產(chǎn)品。亞納米級(jí)分辨率與高速度的結(jié)合使其成為嚴(yán)苛應(yīng)用的理想選擇。
超精密六自由度精密系統(tǒng),SYMETRIE 強(qiáng)大的研發(fā)能力造就了高性能的六自由度定位系統(tǒng)和六自由度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。