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簡要描述:X-LDQ-AE 系列,線性電動位移臺,集成控制器。速度可達1.5m/s, 加速度為2g。
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最小移動量50nm
集成線性編碼器提供高精度閉環(huán)伺服定位
速度可達1.5m/s, 加速度為2g
75, 150, 300, 450, 600 and 1000 mm 行程可選
超過1000mm 行程,精度可達2.5 µm
內(nèi)置控制器
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