Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測(cè)量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測(cè)量原理：低相干邁克爾遜干涉儀  

如圖所示：

Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束，經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光，這兩束光通過準(zhǔn)直儀聚焦到Measurement arm(測(cè)量臂)和Reference arm(參考臂)上；
在測(cè)量臂段，光束經(jīng)待測(cè)物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光；在參考臂段，光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中，此時(shí)掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號(hào)經(jīng)探測(cè)器(光電二級(jí)管)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以準(zhǔn)確移動(dòng)，當(dāng)干涉儀的測(cè)量臂與參考臂光程相等時(shí)，才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動(dòng)，就可以 測(cè)量被測(cè)鏡的位置。

非接觸式測(cè)厚儀特點(diǎn)

1. 非接觸式、非破壞性； 
2. 實(shí)時(shí)在線測(cè)量或離線測(cè)量； 
3. 可單次測(cè)量多層膜，最高可測(cè) 20 層； 
4. 探針靈活配置，實(shí)現(xiàn)多個(gè)不同目標(biāo)測(cè)量 （最多可配8個(gè)探頭）； 
5. 測(cè)試速度快（1s） 
6. 適用范圍廣 
 

非接觸式測(cè)厚儀性能參數(shù)：

測(cè)厚儀應(yīng)用領(lǐng)域：

Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨(dú)立的測(cè)量頭，也可以集成在各種設(shè)備中，廣泛應(yīng)用在以下領(lǐng)域，

1、光電子行業(yè)：

2 、薄膜行業(yè)：測(cè)量塑料薄膜的厚度

3 、醫(yī)療行業(yè)：測(cè)量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙等

4、單件元件厚度控制（特別適用于紅外材料，測(cè)量厚度控制平行度）
5 、平板玻璃厚度測(cè)試：浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測(cè)量